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P.S.范振鴻,外號「Mr.海豚」,現為華冠投顧顧問,具有證券投資分析人員資格,過去曾任私募基金操盤手、前PTT股票版版主,具有豐富的實戰經驗。
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半導體 課程 ptt 在 [請益] 該不該修半導體製程的課| Tech_Job 看板 - My PTT 的推薦與評價
第一次發文若有冒犯敬請見諒QQ 小弟後站大學機械系下學期系上教授打算開一堂半導體製程的課聽到的是說因為台積電機台都是向別人買的現在有意要發展這塊,所以派人來要 ... ... <看更多>
半導體 課程 ptt 在 [請益] 最新的半導體製程看哪(幾)本書好? 的推薦與評價
最新的半導體製程看哪(幾)本書好?小弟接下來的工作是要直接參與台X電的半導體製程研發但我上一次看半導體元件物理已經是2004-2006的事了書也不見了,東西也忘光了這十 ... ... <看更多>
半導體 課程 ptt 在 [心得] 半導體製程整合心得- 看板Tech_Job - 批踢踢實業坊 的推薦與評價
由於小弟在Fab也做了幾年製程整合,這邊整理一下製程整合會碰到,而且需要具備
的相關知識心得。希望可以對想要進入或剛進入製程整合的新人有所幫助~
如果有誤,再麻煩指正,感謝~
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首先,整個半導體產業最終的目的就是做出可以運算/感測/放大...各種訊號的晶片
,所以一定要記得,Fab做出來的東西是要通電的。有很多做製程的工程師,做到最後對
製程很熟悉,但是卻不知道為什麼要這麼做
(Ex:為什麼要HKMG? 為甚麼要contact下面一定要重參雜? 為什麼poly也要打IMP?)
我們可以先看下面這張電路階層圖,這張圖由下到上展現了從元件開發到電路設計的
關係,從最下面的MOS/電阻/電感...到上面的邏輯閘,再到最後設計出的電路功能。
這張圖中展示了Fab和豬屎屋之間的關係,Fab是Bottom up來看電路,主要負責各種
Device特性開發,例如:MOS/Cap/電阻/電容...。而其中就牽涉到半導體元件,製程,量
子物理,光學,化學...等等基礎科學。
另一方面,豬屎屋則是Top down來看電路,從一開始晶片應用領域(是CIS,HPC,還
是高壓電路?),到電路設計/模擬...,主要需要熟悉電子電路,數位,類比,計算機...
。
而其中,PDK就扮演了溝通橋梁,PDK內含的平台文件就可以讓Designer知道,各種電
子元件會出現的Performance,並且進行模擬/設計。而PDK也會讓製程整合知道,製程
Spec該如何制定卡控。
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而從製程平台的角度來看,可以分成幾個階段
1. 製程平台開發
主要由TD或RD執行,這階段需要了解客戶會用到甚麼樣的元件,操作電壓,漏電大小,
SOA...,並且搭配場內製程,來開發元件。而有了基本的製程flow,就可以實際跑實驗
Lot,撒split條件,確認有沒有打到目標。
實驗Lot跑完了,就可以準備做model,這時就要提供Si data給model team,生出SPICE
model,也要制定電性 spec,最後才能送Qual驗證可靠度
而其中也牽涉到IP驗證,IP需要在廠內製程Run過之後,才能實際送給IP house驗證,避
免因製程差異而function異常。
2. 製程平台改良
主要由TD執行,平台OK之後,客戶才會下單NTO,而過程中製程整合需要做窗口,不管是
DRC有問題,產能時程問題,各式各樣的問題都要回答客戶。
而初期Pi-run,需要確認各項製程Window足夠,有了製程Window才有電性Window,最後才
有良率Window
3. 製程平台量產
初期Pi-run結束後,到一定量,就會轉量產,量產就會專門做製程改善,Inline Cpk改善
,抓commom tool,產能改善...
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老實說,製程整合在Fab真的需要蠻長的訓練期,1~2年可能都還是新人,做不出什麼貢獻
,畢竟初期光是要把製程和電性關係了解,就要花很多時間。所以一開始都在帶Lot。
而製程和電性關係了解之後,才可能去調動製程條件,把電性做調整。而這一切的核心其
實還是半導體元件物理,真的建議找本課本,或開放式課程看看。
製程整合在Fab需要接觸很多面向,幾乎甚麼事情都會變成整合要做Owner
(Ex:
產品Low yield --> 整合找module 討論root cause
Device Qual不過--> 整合找Q 討論root cause
Pi-run交期太慢 --> 整合找生管幫忙)
所以整合常常要做溝通橋梁,一邊是客戶,一邊是廠內Module,很需要溝通技巧,合作能
力
而接觸面廣,有好處也有壞處。整合可能是process懂一點,Model懂一點,Device懂一點
,良率分析懂一點,Qual懂一點...。但反過來說,也是因為什麼都要碰所以也才能與豬
屎屋溝通,所以也有人之後就跳去客戶端發展。
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