關於 cryo pump工作原理 ，我們在網路上蒐集到這些相關的討論、資訊與評價

#11. Vacuum pumps 真空幫浦

氣體轉換幫浦(gas transfer vacuum pump)：藉由一至數個 ... 磁浮軸承：利用磁鐵相斥的原理讓整個軸承即轉子漂浮於空中自轉， ... Cryogenic pump 冷凍幫浦 ...

#12. 低温真空泵的工作原理和工作过程-海门鑫华真空设备厂 - 不锈钢 ...

CRYO Pump （低温真空泵）为高真空pump，应该和低真空pump配合使用，工作前真空度应该达到10-2mbar ，否则无法工作。 当吸附气体饱和后，要做regeneration（再生） ，即将 ...

#13. [請益] 請問關於cryogenic pump的工作原理 - PTT職涯區

[請益] 請問關於cryogenic pump的工作原理. 看板 Mechanical. 作者 johsieh. 時間 01-28. 留言 0則留言，0人參與討論. 推噓 0 ( 0推 0噓 0→ ).

#14. 光學薄膜設計與製作_3-3 真空原理-真空幫浦 - YouTube

Turbomolecular Vacuum Pump Principles via Oerlikon Leybold Vacuum. John Morris Group. John Morris Group. •. 36K views 7 years ago ...

#15. 了解了低温泵的工作原理才能更好的使用 - 膨胀机

低温泵的工作原理是利用气体在超低温表面发生物理吸附而达到排气的效果，是获得洁净真空的一种有效、快捷的方法。 一般提到的低温泵的使用介质温度稍微高 ...

#16. Fast Regen在半導體製造業之應用

Fast Regen原理之說明: 機器之產能(Through put)更是成本的重要指 ... Cryo Pump其cool stage共計有二:stage. 1;stage 2。 ... 時左右(從工作低溫到工作低溫),使用On-.

#17. Diffusion pumps - 真空幫浦 - 松中實業有限公司

油擴散泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似，都是靠高速蒸汽射流來攜帶氣體以達到抽氣的目的，故有如水蒸汽噴射泵相似的特點。不同點是擴散泵工作在高真空區域，其工作壓強 ...

#18. 真空泵(真空幫浦)原理種類知多少? - Supplier News

等產業上，究竟這樣被經常使用的機器，它所運作的原理為何？ 真空泵的原理 ... 冷凍幫浦(cryogenic pump，簡稱cryo pump). 離子幫浦(ion pump).

#19. 真空泵(真空幫浦)原理種類知多少? - 工商產業小天地

真空的分類 · 吸附式幫浦（surface adsorption type pump） · 冷凍幫浦（cryogenic pump，簡稱cryo pump） · 離子幫浦（ion pump).

#20. Polycold 水汽深冷泵 - 伯東國際通商HAKUTO Taiwan Ltd

Polycold Fast Cycle Water Vapor Cryopump 快速迴圈水氣低溫泵-冷凍機(PFC)。PFC低溫冷凍技術，其工作原理是利用麥斯納（Meissner）吸收原理，使水氣分子在低溫盤 ...

#21. Polycold 快速循環水汽深冷泵的原理及架構概念 - Hakuto 伯東 ...

Polycold 快速循環水汽深冷泵(Fast Cycle Water Vapor Cryopump)的工作原理是依照麥斯納（Meissner）吸收原理。使水汽分子在低溫盤管（Cryocoil）的 ...

#22. 射頻濺鍍機之製程與設備初步技術實習

本專題製作旨在明瞭半導體製程設備中，射頻濺鍍機的原理、操作方式及. 重要零件的技術內容。 ... 圖3.7 顯示冷凍幫浦由壓縮機(compressor)和冷凍幫浦(cryopump)二部份.

#23. Vacuum Technology - OCPA

真空幫浦抽氣原理(Pumps). 真空計測量氣壓原理(Gauges, ... 冷凍式(Cryo) ─ 低溫冷凍(全部氣體) ... RGA 工作原理－交直流電場調節解析度. 與零敏度(.

#24. 冷凍幫浦 - 真空泵

冷凍幫浦式利用超低溫的物理機制來吸附真空腔體內的氣體，以達到抽氣的效果。其抽氣機制分為：超低溫冷凝(cryocondensation)、超低溫吸附( cryosorption) 及超低溫 ...

#25. 真空Pump

請說明真空等級分類,壓力範圍,氣流特性(20%). • 請說明CRYO Pump - 結構,工作原理,建構真空壓力範圍(30%). • 請擇一說明“BOC Dry Pump” 或“STP Turbo Pump” –.

#26. 和裕科技真空幫浦真空泵原理和種類

一、真空幫浦(真空泵)原理 ... 冷凍幫浦（cryogenic pump，簡稱cryo pump） ... 時，千萬不要自行拆卸維修，要請通知原廠工程師進行瞭解後，才進行真空幫浦維修工作。

#27. 半導體真空系統應用四、熱及電子槍蒸鍍技術五

低溫幫浦之工作原理. A cryo pump works by freezing and trapping molecules. It is made of cold surfaces (-193 ºC to -255ºC) that trap molecules by freezing ...

#28. 真空概念www.tool-tool.com

cryo pump 是目前半導體使用最普遍，乾淨無油高真空邦浦，抽氣範圍可達10E-2到10E-11Torr對水氣抽氣效率最高最大，因為是利用極低溫(約零下273。

#29. 【cryo pump再生原理】資訊整理& booster pump 原理相關消息

cryo pump 再生原理,應用時域特性與類神經網路之- 中華大學,排氣式幫浦又因操作原理不同可分為正排氣真空幫浦和氣體分子動力式真. 空幫浦。正排氣真空幫浦是藉由.

#30. 趣圖 - 禎儒真空冷凍科技有限公司

(Give pump) ... 極低溫高速排氣真空冷凍幫浦系統處理作業,主要是利用極低溫凍結的水分子捕捉原理。 ... 如何選擇適當規格的Cryopump冷凍模組,.

#31. 真空技術簡介

（3） 各式真空幫浦不同的抽氣原理。 ... 各種真空幫浦工作範圍一覽表 ... 冷凍幫浦（Cryopump）特點：乾淨，無油氣污染。 壓力範圍： 10.

#32. CN103348137B - 具备控制氢气释出的低温泵

转回到图7,如果T2等于或大于40K，那么控制器190便将制冷器的速度从标准工作 ... 方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还 ...

#33. 真空幫浦原理種類知多少?

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分爲兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。隨着真空應用技術在 ... 冷凍幫浦（cryogenic pump，簡稱cryo pump）

#34. 第三章實驗儀器與工作原理

一套真空系統是由許多個別的小系統和元件所組合而成，所謂的. 小系統包括真空腔體(chamber)，真空計(vacuum gauge)及真空幫浦. (vacuum pump)。連接這些次系統組裝成系統則 ...

#35. cryopump - 头条搜索 - 今日头条

The condensation source of the modern cryopump is a mini refrigerator. 制冷机低温泵的冷源是小型制冷机。 ... cryopump工作原理 · cryopump市场分析.

#36. cryo pump工作原理 :: 美容美髮公開資訊

cryo pump工作原理 源森農莊有限公司地址 先進光電待遇 世界先進三廠 菲嫙國際有限公司地址 台灣高絲面試ptt 黛莉股票 凌陽科技產品 凌陽科技股份有限公司.

#37. 真空系統的設計、腔體設計及控制與操作及軟體撰寫 - 冰研應用 ...

Turbo pump/Cryo pump 採橫掛. 或垂直. • 震動考量. • Feedthrough. • ………略. 4. 2019/12/25. Advanced Hivac Application Co Ltd, 冰研應用股份有限 ...

#38. Vacuum Technology for Applied Surface Science - Chapter 20

Sorption pump ( 吸附pump )，Cryopump ( 冷凍pump ) ... pump ) 及噴射幫浦( steam ejector pump ). 原理：液體蒸發為氣體後衝向真空系統的抽氣口，將真空系統.

#39. 真空pump原理 - 雅瑪黃頁網

搜尋【真空pump原理】相關資訊的網站及服務公司，方便你快速正确找到所需的資料。 ... cryo pump 原理,請問rotary pump及cryo pump的工作原理？ , 急件關於真空乾式油 ...

#40. 真空幫浦CAD/CAM專業系統系所別 - 中華大學

(3) 拖曳式幫浦(Drag Pump) ：拖曳式幫浦是以黏滯性之原理拖曳移動而排出，. 達到抽氣的效果。 2.2 渦輪分子真空幫浦基本原理. 渦輪分子幫浦即在幫浦的工作流體處於 ...

#41. 找真空泵原理相關社群貼文資訊

cryo pump工作原理 完整相關資訊- 小文青生活。 2021年9月16日· 缺少字詞： gl= tw了解液环真空泵工作原理| Nash - Gardner Denver工作原理. 当叶轮旋转时，密封液在泵体内 ...

#42. 抽真空原理 - Mytrop

冷凍幫浦（cryogenic pump）. 冷凍幫浦堪稱是最潔淨的真空抽氣技術，對系統真空潔淨度要求極為嚴苛的應用來說，冷凍幫浦可謂是最佳的選擇. 真空泵的原理. PDF 檔案.

#43. 產業評析2010 年我國真空幫浦市場概況(上)

段幫浦(Fore Pump 或Backing Pump)，亦可稱為粗略幫浦(Rough Pump)。 ... 關於真空幫浦的種類繁多，茲將以抽氣型態、工作原理及工作範圍整理如【圖. 1】所示。

#44. cryo pump 原理網站相關資料

cryo pump 原理 已經由網友於【綠色工廠好玩App】分享資料與瞭解turbo pump 原理58筆1頁,dry pump 原理關注社群話題.

#45. 真空pump種類

冷凍幫浦（cryogenic pump簡稱cryo pump） 離子幫浦（ion pump) 3 真空幫浦的一般 ... 真空を引く原理に応じて種類(容積移送式、運動量輸送式など)が分けられています ...

#46. 真空泵与阀门 - 豆丁网

... 供水轴承图（10）分子泵的工作原理示意图图（11）分子泵的构造图（七）、冷泵(cryogenic pump) 冷泵系统由压缩机（compressor）和冷泵（cryopump）二部分组成。

#47. turbo pump 原理

Pfeiffer Turbo pump 渦輪分子泵工作原理(Turbo molecular Pump) 伯東企業（上海） ... pump) 致冷式幫浦(cryogenic pump) diffusion pump turbo pump cryogenic pump ...

#48. cryogenic pump 的中文含义 - 独特工具箱

单词cryogenic pump 的含义：[0] [机] 低温泵；深冷泵. ... 奇摩知识+ 请问rotary pump及cryo pump的工作原理与适合工作温度低温帮浦(cryogenic pump,cryo pump) -利用 ...

#49. 中性束系统大抽速低温泵的初步设计

本文阐述了用于中性束束线的低温泵的工作原理和基本结构，针对 ... Preliminary design of high pumping-speed cryopump for neutral beam injection.

#50. 幫浦原理 - kycz

蠕动泵的工作原理蠕动泵又叫恒流泵和软管泵，其机械原理十分简单。 ... CRYO PUMP 原理介绍– CRYO PUMP 原理介紹: 超低溫幫浦(cryo pump)由於抽氣速率大, ...

#51. cryo pump regen 原理半導體專業名字漢語含義解釋 - Gkgnae

Cryo pump 原理 : 是利用吸附原理而工作： Cryo pump 為高真空pump，應該和低真空pump 配合使用，工作前真空度應該達到10-2mbar， 否則無法工作。當吸附氣體飽和后，要 ...

#52. 幫浦原理蠕動泵幫浦原理和優點-宏惇有限公司 - Cyujk

幫浦概觀 · PDF 檔案蠕動幫浦的工作原理非常簡單，幫浦和流體都不受污染，幫浦式義 ... 原理技術油式幫浦（Rotary Vane Pump)又稱油迴轉式真空泵，壓，加工，簡稱cryo ...

#53. 如何選擇工業泵浦？ - 大儀股份有限公司

並依運作原理和特定的功能及用途，將之區分為離心式泵浦、往復式/定量泵浦、無軸封 ... 「磁力無軸封泵浦（sealless magnetic drive pump）」則是由裝設在葉輪和馬達軸 ...

#54. 低温泵_搜狗百科

外文名cryopump ... 抽气原理. 在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。 ... 当泵被预抽到 帕压力时灌入液氮和液氦，气体凝结在4.2K的工作冷板上。

#55. The Instruments Center of NCYU - 電子束蒸鍍系統 - 嘉義大學

原理 與真空蒸鍍法相同。 ... pump溫度異常,CRTM 異常,遮板動作異常,主閥開啟異常,粗抽閥開啟異常 ... Cryo pump , heating可以做預約一週內自動再生之日期及時間.

#56. 冷凝泵工作原理（冷凝泵是做啥用的）

冷凝泵工作原理（冷凝泵是做啥用的） ... 低温泵的工作原理？ ... 高真空，一般为了性能及能效，需要配合先用Dry pump抽到低真空然后再cryo pump 启动 ...

#57. Polycold 水汽捕集泵的工作原理-技术中心 - 真空镀膜机

Polycold 快速循环水汽深冷泵(Fast Cycle Water Vapor Cryopump)的工作原理是依照麦斯纳(Meissner)吸收原理.

#58. 真空泵(真空幫浦)原理種類知多少? @ 工商產業小天地

圖7、8、9、10 是魯式幫浦的工作原理）（圖11 是魯式幫浦特性圖）. ... 結拖幫浦（getter pump） 冷凍幫浦（cryogenic pump，簡稱cryo pump） 離子幫浦（ion pump).

#59. 低溫泵哪家強？10家外資產品對比

ACD Cryo專注於定製符合歐洲標準的產品，在提供ACD標準產品同時，也製造Cryopump品牌的低溫泵產品。ACD Cryo在歐洲設有兩個辦事處：位於瑞士的ACD ...

#60. pump原理

工作原理 ： · 1、机器通电后，各机构复位。 · 2、夹管机构由C点移动至D点后，滚柱左右移动机构动作，滚柱由A点向B点移动，完成挤压液体动作，通过针头向瓶中分装； · 3、移动 ...

#61. Cryopump: Basic Function - Nanofabrication: Vacuum Pumps ...

Video created by Duke University, North Carolina State University, The University of North Carolina at Chapel Hill for the course "Nanotechnology: A Maker's ...

#62. 真空蒸鍍系統簡介和工作原理 - 軟體兄弟

真空蒸鍍系統簡介和工作原理, 蒸鍍的原理為何呢? ... 如圖一，分別用於金屬及介電材料之蒸鍍，並具備冷凍幫浦(Cryo-pump)，真空度 ... ,電子束蒸鍍系統的開發就是為了 ...

#63. cryo pump 中文

cryo pump 中文:低溫泵…，點擊查查權威綫上辭典詳細解釋cryo pump的中文翻譯，cryo pump的發音，音標，用法和例句等。

#64. Microsoft PowerPoint - Chapter 3 產生真空的辦法.ppt [相容模式]

4 擴散幫浦diffusion pump 為利用氣體擴散的原理的幫浦當真空系統中的壓力達可起動 ... 操作在較高壓力或常開閉的真空系統43 冷凍幫浦cryogenic pump 簡稱cryopump 係 ...

#65. 一种基于深冷混合工质节流制冷机的高真空水汽捕集器

Compared with the traditional cryogenic pump , there is no requirement of periodic maintenance. ... 混合工质节流制冷机的工作过程和原理相对简.

#66. 德国莱宝leybold旋片真空泵SCROLLVAC 7 plus维修保养

SCROLLVAC 干式压缩真空泵是按照涡旋式压缩机的工作原理运行。每台泵由2个阿基米德螺旋 ... The ideal dry pump solution for backing turbomolecular and cryo pumps.

#67. 真空抽氣幫浦

一般來說，冷凍幫浦的工作壓力約莫介於10 -6 ～ 10 -11 Torr，也就是只能用於 ... 二、真空幫浦抽氣原理真空幫浦依據抽氣原理之不同可分為排氣式與儲氣式兩類幫浦。

#68. 研究機構能源科技專案106 年度執行報告

備PECVD 及RPD 之性能，所執行之工作項目。 雖在一般矽晶太陽電池中，前後段 ... 冷凍泵(Cryo Pump)的操作原理是將一表面的溫度降到極低溫，甚至可以.

#69. 倍疆科技股份有限公司Best Champion Technology Co., Ltd.

... Pump,Diaphragm Pump,Dry Pump,Turbo Pump,Ion Pump,Diffusion Pump,Cryo Pump ... 離子幫浦為一種吸附幫浦，其工作原理是利用高壓讓氣體分子游離，並藉由電場的 ...

#70. 氣動幫浦原理

氣動雙隔膜泵浦之作動原理是左右兩邊各有一隔膜室，每一隔膜室各由一軟質之膜片在中間將 ... 吸附幫浦（sorption pump） 結拖幫浦（getter pump） 冷凍幫浦（cryogenic ...

#71. 第二章實驗儀器操作與原理- 2.1 真空系統

本實驗所使用到的真空腔系統，包含了一個主真空腔(Main chamber)、一個. 乾式幫浦(Dry vacuum pump)、一個渦輪旋轉幫浦(Turbo pump)、一個離子幫浦. (Ion pump)，一個鈦 ...

#72. クライオポンプの仕組み - ナガセテクノエンジニアリング

クライオポンプ 仕組み · 製品TOP · 原理と特長 · 仕組み · 応用例 · 安全対策 · メンテナンス · MARATHON® CP-8. CRYOPUMP · MARATHON® CP-8LP CRYOPUMP ...

#73. CTI-Cryogenics 低溫泵浦

CTI-Cryogenics 低溫泵浦. 卓越的效能和更長的工作運行時間 ... 嵌入式微製程控制器有助於增強性能、執行診斷例行工作，並提供相關訊號能力。 ... Cryo-Torr 低溫泵浦 ...

#74. 天寒水汽深冷泵 - 泰安天地精仪科技有限公司

天寒水汽深冷泵、天寒气体捕集器-135℃水汽捕集泵-135℃Water vapor cryopump（ ... 深冷泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵 ...

#75. 真空技術精華Vacuum Technology | PDF - Scribd

抽真空的方法有各類幫浦的介紹包括原理、構造、操作及應用等。 ... 108 圖3.40 冷凍機冷卻式冷凍幫浦的原理 ... cryogenic pump 簡稱cryo pump 冷凍幫浦40, 105

#76. 低温泵,Cryopump英语短句,例句大全 - X技术

Design of Cryopump Installed in Drift Tube of Neutral Beam Injector; ... Study on Working Process of G-M Cryogenics Pump;G-M低温泵的工作过程研究与故障分析

#77. 一般實驗物理研究基本知識技術課程真空技術 - SlideServe

冷凍幫浦（Cryogenic pump）： 將被抽氣體冷凍成固體而儲於幫浦中。 ... 撞濺離子幫浦之工作原理： (1)真空高壓放電產生高速電子。

#78. 氣動泵浦原理– Lajsd

16/4/2016 · 氣動隔膜泵工作原理： QBY氣動隔膜泵既能抽送流動的液體，又能輸送一些 ... pump） 結拖幫浦（getter pump） 冷凍幫浦（cryogenic pump，簡稱cryo pump） ...

#79. 薄膜沉積–Pvd

電熱絲- 簡單，不重要的工作- 溫度沿熱絲變化，不易控制- 原料和熱絲內的雜質被 ... 低溫幫浦(cryogenic pump ， cryo pump) - 利用絕熱膨脹(adiabatic expansion) ...

#80. 金屬化（十二） - 今天頭條

低溫泵（參見下圖）是利用氣體分子在低溫表面上凝結的原理。上一部分描述的冷收集器和冰箱內部凝結成霜都是低溫泵工作過程的實例。 金屬化（十二）.

#81. 直流與射頻功率濺鍍AZO薄膜及AZO霧化計畫 - SlidePlayer

9 大綱 真空技術原理 真空系統 真空量測與真空計 真空材料與零組件 真空測漏 真空 ... 57 低溫幫浦之工作原理 A cryo pump works by freezing and trapping molecules.

#82. 半導體100問:PVD知識講解 - 人人焦點

PVD鍍膜（離子鍍膜）技術，其具體原理是在真空條件下，採用低電壓、大電流的電弧放電 ... 高真空用Cryo pump （深冷泵） 從5mTorr抽至10E-9 Torr。

#83. CRYO Pump 技術資料庫 - 元榕科技有限公司

提供維修服務：真空閥門、Compressor、CRYO Pump、Scroll Pump、Diaphragm Pump、Other Pump， ... CRYO Pump 技術資料庫. 冷凍pump原理: ...

#84. 真空技术

An Experiment on a Bird in the Air Pump ... 3、泵腔及转子工作时为干式无油，对被抽气体中的灰尘，水蒸汽不敏感，油蒸汽污染真空系统的情况比油 ... 结构及工作原理.

#85. 低温泵哪家强？10家外资产品对比 - 腾讯新闻

ACD Cryo专注于定制符合欧洲标准的产品，在提供ACD标准产品同时，也制造Cryopump品牌的低温泵产品。ACD Cryo在欧洲设有两个办事处：位于瑞士的ACD ...

#86. turbo pump 保養

Pfeiffer Turbo pump 渦輪分子泵工作原理(Turbo molecular Pump) 伯東企業（上海） ... Pump,Diaphragm Pump,Dry Pump,Turbo Pump,Ion Pump,Diffusion Pump,Cryo Pump.

#87. 國立屏東大學應用物理系光電暨材料碩士班碩士論文 ...

冷凝式幫浦(CRYO Pump)、兩組前置無油式機械幫浦(Mechanical Pump)與一組殘 ... DFM 為輕敲式的AFM，其工作原理主要是探針以振盪方式，在樣品上跳.

#88. 東海大學物理學系碩士論文

第二章儀器原理與樣品準備. ... 圖2-4 電子束蒸鍍之電子槍工作原理. ... 燈，以及由機械幫浦(Rotary pump)與冷凝幫浦(Cryo pump)組成的真空. 抽氣系統。

#89. 出售冷冻链氮气泵低温氮气泵

Cryo Chains. 型号: YDB-8A. 原产地: Henan, China ... Cryo Chains Nitrogen Gas Pump Cryogenic Nitrogen Pump For Sale ... 液氮自动加注装置的工作原理是什么？

#90. 物理蒸鍍之基礎與應用授課大綱

物理氣相蒸鍍原理. ▫ 物理氣相蒸鍍設備基本構造. ▫ 物理氣相蒸鍍製程之種類 ... 各類幫浦工作範圍. 真空度. 低真空. 中真空. 高真空. 超高真空.

#91. ULVAC CRYOGENICS INC｜[低温泵入门1 ]

故既可在操作上轻易获得洁净的超高真空，又可长时间稳定连续运转。 2.低温泵的工作原理及构造 有关低温泵的构造以CRYO－U8H为例进行说明。低温泵内 ...

#92. 半导体知识讲解：PVD知识100问 - 知乎专栏

PVD 制程原理为何? ... 答：粗真空用Rough pump（机械泵）从大气压抽至5mTorr，. 高真空用Cryo pump （深冷泵） 从5mTorr抽至10E-9 Torr。

#93. 釋氣閥原理Air

有用到氣動閥的企業員工必須要了解其工作原理，它的出現極大的方便了相關行業的工程作業，但由於 ... 二次測表調至適當壓力值，從而使管道暢通，震動，CRYO PUMP 原理 ...

#94. 真空技術精華 - 第 105 頁 - Google 圖書結果

34 冷凍幫浦冷凍幫浦( cryogenic pump 簡稱 cryopump )係一種以極低溫將氣體冷凍成固體貯於幫浦內的真空幫浦。以冷凍為基本抽氣原理的幫浦多以液態氮為冷凍介質, ...

#95. 真空系統概論 - Zpx |

介紹IC製造領域，真空系統概論，課程大綱如下：一、真空技術原理二、真空系統三、真空量測 ... 材料、真空幫浦系統（dry pump、root pump、cryo pump、turbo pump etc.

#96. 電子材料 - 第 232 頁 - Google 圖書結果

出氣入氣( a )進氣( b )隔絕( c )壓縮( d )排氣圖 8.11 路兹泵的抽氣原理泵 4.冷凍式幫浦( cryogenic pump )冷凍幫浦由壓縮機( Compressor )和冷凍幫浦( cryopump )二 ...

#97. 請說明CRYO Pump - 結構,工作原理,建構真空壓力範圍(30%)

真空Pump - Homework • • • • 請說明真空等級分類,壓力範圍,氣流特性(20%) 請說明CRYO Pump - 結構,工作原理,建構真空壓力範圍(30%) 請擇一說明“BOC Dry Pump” 或“STP ...