關於 duv波長範圍 ，我們在網路上蒐集到這些相關的討論、資訊與評價

#11. 【duv波長】新一代製程的關鍵：13.5奈米... +1 | 健康跟著走

深紫外線DUV=== 紫外線（Ultraviolet或簡稱UV）是波長比可見光短，但比X射線長的電磁輻射，波長範圍在10納米（nm）至400納米，能量 ... ,EUV光源波長比目前DUV（深 ...

#12. 中國EUV 封鎖有解？ASML 推7 奈米製程DUV - 科技新報

DUV 的深紫外光波長近193 奈米，雖然透過液體浸潤多重曝光後，的確能縮小線距，但要與EUV 的13.5 奈米波長等效，成本及良率恐怕都會很難看，這也是 ...

#13. 知識力

深紫外光(DUV：Deep Ultraviolet)：光源波長300nm以下，使用「準分子雷 ... Aperture)：用來衡量光學系統能夠收集光的角度範圍，數值孔徑愈大收光能力 ...

#14. TWI675463B - 用於背照式感測器之防反射層

本申請案係關於適用於感測深UV(DUV)及真空UV(VUV)波長中之輻射的影像感測器，且係關於 ... 為檢驗半導體圖案化晶圓，在一相對較廣之波長範圍(諸如包含處於近UV、DUV及/ ...

#15. 日用深紫外光源消毒更近一步 - 化合物半导体

近年来，深紫外（DUV）光源在杀菌消毒方面备受关注。为了在确保使用者安全的同时实现杀菌效果，220-230nm的波长范围是可取的。但尚未开发出该波长范围 ...

#16. 用於次25 奈米極紫外光曝光機之新穎反射型衰減式相位移光罩

圖5. TaN/SiO2/Mo 吸收膜堆在DUV 檢視波長範圍. 的反射率。 Attenuator: TaN. Spacer: SiO2. Phase shifter: Mo. Reflectance. Phase shift. 0.

#17. UV紫外線殺菌系統 - 純華國際有限公司

用於水處理中的紫外線被進一步分為兩個波長：254nm和185nm，1納米=1/1000微米。254NM ... 當微生物吸收波長在200 - 300 nm範圍內的紫外光時，DNA和RNA分子吸收紫外線。

#18. 波段外輻射 - 中文百科全書

通常，OOB波長在150~400nm，其中DUV占EUV光強的比例約1%到30%。 ... 光源輸出到光刻機中的EUV光具有一定的頻譜範圍，絕大多數是13.5nm波長，但也有其他波長的光。

#19. 視頻、動圖、圖文詳解：全球最先進的EUV光刻機是怎麼工作的

學過物理學的朋友們都知道，人眼可見光的波長範圍大致在400nm到700nm之間（不同 ... DUV光刻機使用的紫外光波長是193nm，而EUV光刻機使用的是13.5nm。

#20. 深紫外光源合成石英玻璃中Verdet常数的波长依赖性,Optical ...

深紫外（DUV）光源由于其高的光子能量和小的衍射极限而变得至关重要，而合成石英玻璃（SQ）适用于DUV光的法拉第旋转器。在190-300 nm的波长范围内评估 ...

#21. Item 310360000Q/16880 - National University of Kaohsiung ...

(1) 當半導體微影製程光源從使用193 nm (DUV, Deep ultraviolet)波長縮短至13.5 nm (EUV, Extreme ultraviolet)波長時，光阻釋氣即被視為汙染EUV 光學元件 ...

#22. 7nm的DUV光刻机不是一样能用吗？ - 知乎用户的回答

所有的DUV光刻机，用的光源都是193nm波长的ArF excimer laser，之前的 ... 在紫外范畴，至于13.3nm的波长，那是紫外光波长范围继续细分，称之为极紫外光，英文extreme ...

#23. 雷射的原理| 知識 - Keyence

電磁波當中，肉眼可見的波長範圍的光稱為「可視光」。 ... 曝光裝置、眼科醫療: 混合惰性氣體和鹵素氣體，可用較簡單的結構生成: 終極的紫外線雷射（DUV），吸收率非常 ...

#24. 曝光機_百度百科

更廣範圍（UV，DUV，NUV）的紫外光波長選擇，出射光強範圍: 8mW/cm2~40mW/cm2. 支持恆定光強或恆定功率模式. 廣泛應用於半導體、微電子、生物器件和納米科技領。

#25. LP-001 手持式照度色度計 - 宏明科技

波長範圍 ：380-780nm. 光學解析度：<8nm. 波長準確性：±0.5nm ... 光譜圖(Spectrum Diagram)、色純度(Purity)、峰值波長(λp)、主波長(λD)、色純度(Purity)、Duv、暗明 ...

#26. 中華大學碩士論文

兩大重點：一是要以在目前之曝光製程所感興趣的波長範圍（DUV range）來進行量測，而國家同步輻射 ... 譜的波峰位置，計算出光阻在不同波長下的折射率n 與所對應之折射.

#27. 第一章緒論

之深紫外光(DUV)光源，線寬節點已達到90 nm 世代並順利量產， ... 影，而是廣泛運用在DUV 或EUV 微影上。1990 年B. J. Lin[13]以 ... (波長範圍為189-1200 nm).

#28. 碩士論文超快雷射應用於ITO 層去除加工之探討 - 義守大學

ITO 薄膜在不同波長區域範圍內，具有不同的光學特性，因為受到大量自由. 電子的影響，在可見光及近紅外光區為高穿透、低反射，在紫外光區則為高吸收、.

#29. LED高速光譜分析儀系統LE-Series - 大塚科技

特色; 項目; 規格; 架構圖; 時間軸; 範圍; 範例. LED高速光譜分析儀 ... 相關色溫與Duv ... 量測波長範圍, 380 ~ 960 nm, 300 ~ 800 nm, 330 ~ 1100 nm, 350 ~ 930 nm.

#30. SUV - TOPTICA Photonics AG

每当达到DUV波长范围时，多种机制都会导致输出功率的严格限制。 同时，工业应用需要像TopWave 266这样的交钥匙UV激光器。对于SUV，科学市场和Quantum Technologies可以提供 ...

#31. 日常使用光源将红外辐射转换为蓝光进杀菌消毒 - 中国光学期刊网

使用IR 截止过滤器拍摄波长为428nm蓝光二次谐波发射的数码相机图像。大阪大学供图。 如果要安全地将DUV 光用作消毒剂，则需要220 至230 nm 的DUV 波长范围。虽然 ...

#32. 利用日常使用的深紫外线光源进行杀菌消毒- 资讯 - 光学社区

这个波长范围内的DUV光源既耐用、效率又高，但它还没被开发出来。虽然波长转换器件具有广阔的应用前景，但传统的铁电波长转换材料由于具有吸收边缘效应 ...

#33. 「AET原創」EUV是7nm節點之後的必然趨勢

當前使用的沉浸式光刻技術波長193nm（DUV，深紫外光），而當進行7nm 以下節點製造時就需採用波長13nm 的EUV 光刻機。根據ASML 公布的路線圖，EUV 光刻機 ...

#34. Deuterium Lamp 氘鹵燈光源 - 昌盛光電

Deuterium Lamp 氘鹵燈光源. 氘燈放射出的持續光譜範圍從紫外波段的160~185nm到可見光的600nm之間， ... 氘燈光源主要應用於深紫外線光DUV，通常波長可應用到185nm，.

#35. UV-1900i - 紫外光-可見光分光光譜儀 - 台灣島津科學儀器股份 ...

UV-1900i具備同級機種最廣的4 Abs (OD值) 線性範圍，而在最考驗儀器性能的深紫外光波段(DUV)，UV-1900i的迷光值低達0.5 %T以內(198 nm, KCl)。 越級挑戰的高性能源自於 ...

#36. SPECTROMETER：Avantes 光學內部構造 - 佐信科技

在為一台光譜儀系統選擇最佳化配置的時侯，波長範圍是決定光柵型號的首先要考慮的 ... 對於UV波段的應用，可以選用256/1024 像素的CMOS 偵測器或者深紫外（DUV）增強 ...

#37. 立即发布 - KLA-Tencor

2930. 系列宽波段等离子光学检测仪采用DUV/UV 波段，可以作为对于3900 系列波长范围的补充，. 确保在所有工艺层上的良率相关缺陷侦测均能达到最佳对比度。

#38. 「AET原創」EUV是7nm節點之後的必然趨勢 - 數位感

晶片行業從20世紀90年代開始就考慮使用13.5nm的EUV光刻（紫外線波長範圍 ... 當前使用的沉浸式光刻技術波長193nm（DUV，深紫外光），而當進行7nm 以下節點製造時就需 ...

#39. 奈米世代微影技術之原理及應用 - CTIMES

空氣中的水氣與氧氣對於此一波長範圍的光有很強的吸收；故157 nm微影必需要在真空 ... 限制外，光學系統（optics）與光阻材料及計上亦與深紫外光（DUV）微影截然不同。

#40. UPRTEK產品使用的縮寫代表什麼意思？

Duv, CIE1960 uv色座標差異, –, 與CIE1960座標上，與普朗克黑體輻射線相同色溫的uv距離，此數值越近於零越 ... IRR, 輻照度, W/m2, 規格指定波長範圍內的放射照度。

#41. 微型光譜儀

OTO Photonics. 康樺科技股份有限公司E-Mail : [email protected] Tel : (02) 86423011 Fax : (02) 86423694. 型號. 波長範圍. 狹縫寬度. SE1020C-025-V2.

#42. 曝光机 - 搜狗百科

简介： 曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透体上的图像信息 ... 更广范围（UV，DUV，NUV）的紫外光波长选择，出射光强范围: 8mW/cm2~40mW/cm2.

#43. 193nm波長光刻機如何刻出28nm線寬晶片？ - 電子技術設計

然而193nm能做出50nm以下，1/4波長的尺度，已經非常神奇了，不是嗎？ ... 主要是沒有了對準這大難題，應用範圍就廣了不少。基於這種方法，重複一次就 ...

#44. 「duv原理」懶人包資訊整理 (1) | 蘋果健康咬一口

其中波長小於300nm的紫外光又稱為「深紫外光(DUV：Deep Ultraviolet)」，是 ... ,為了讓線寬 ... 液體中曝光微影的原理早在1980年以前即被應用，只是當時的應用範圍.

#45. 滿足中國最新紫外殺菌標準的新產品：高功率Klaran UVC LED

Klaran LED的波長範圍為260nm-270nm，而這一波段正是最具有殺菌效果的 ... 2019-2020 DUV LED市場產值- 區域市場別; 2020-2024 UV-C LED需求市場數量 ...

#46. 【芯视野】从EUV到DUV：光刻机战火再燃？ - Laoyaoba

DUV 与EUV最大的区别就是光源方面，EUV的光源波长为13.5nm，最先进DUV的光源波则 ... 行业专家莫大康指出：“美国还是将继续采用许可证制度，但可能会扩大名单范围，包括 ...

#47. 優志旺股份有限公司/ 產品資訊USHIO TAIWAN, INC.

Product Information · U產品類別搜尋 · U功能/用途搜尋 · U領域/行業搜尋 · U波長搜尋.

#48. 【光刻百科】波段外輻射Out Of Band Radiation, OOB

光源輸出到光刻機中的EUV光具有一定的頻譜範圍，絕大多數是13.5nm波長， ... 通常，OOB波長在150~400nm，其中DUV佔EUV光強的比例約1%到30%。

#49. 走向每日使用的用于绝育和消毒的深紫外线光源

近年来，深紫外（DUV）光源在杀菌和消毒方面受到了广泛关注。为了在确保用户安全的同时实现杀菌效果，希望波长范围为220 - 230纳米。但这一波长范围内 ...

#50. 造成不出更小晶片，是因爲採用的光線太大？你是這樣想的嗎？

在媒體介紹中，大家應該知道，DUV使用波長193nm深紫外光的極限只能 ... 如果清晰度有等級的話，你可以在接受的模糊等級範圍內繼續微縮下去，但是到 ...

#51. Canon FPA-3000i5+ Stepper

與短波長（達DUV 範圍）的步進機，已經可以將線寬推進至100 奈米以下的尺. 寸，但伴隨而來的問題，是挑戰在100nm 線寬下的對準極限(3σ=10nm)。在先.

#52. Molex DUV紫外石英光纤上海连舰供应

Molex公司提供的DUV紫外石英光纤，传输范围覆盖紫外-可见光-近红外（180-850nm）。 ... 光纤类型, 波长范围, 特性, 成本. FVP, 240-850nm. • 经济性高. • 抗日晒性能高.

#53. 小辭典》什麼是DUV設備？ | 自由電子報| LINE TODAY

微影設備是利用光線的波長來加工精密尺寸的晶片，又稱蝕刻機、光刻機；波長不同效率差很大。最早是使用汞燈產生的紫外光源，再來是深紫外光源(Deep ...

#54. 半導體工藝|投影式X 射線光刻、投影電子束光刻

深紫外光（DUV）曝光的波長下限是170 nm ，這是因為當波長小於170 nm 時，在這一範圍內唯一可用於掩模版透光部分的玻璃或石英材料會大量吸收光波能。

#55. 紫外線波長範圍量測資訊第182期：紫外線(UV - Uvyo

紫外線依照波長的範圍，可穿過煙霧，又俗稱紫外光。 ... 紫外線（Ultraviolet或簡稱UV）/ 深紫外線DUV=== 紫外線（Ultraviolet或簡稱UV）是波長比可見光短，讚嘆 ...

#56. 光谱椭偏仪

光谱椭偏仪可配置从DUV到NIR的波长范围。DUV范围可用于测量超薄膜，如纳米厚度范围。比如硅晶片上的原生氧化物，其通常仅为约1至2nm厚。当用户需要测量许多材料的带隙 ...

#57. CN106489084A - 用于光刻设备内的膜和包括这种膜 ... - Google

因为在IR波长区中发射了热辐射，则高光谱(IR)半球形发射率能够实现针对EUV膜的相当大热 ... 等离子体也产生其它波长的辐射，例如，在可见光范围、 UV范围和DUV范围内。

#58. 尚澤光電 - 豆丁网

duv.即光源的色品点(u,v)离开完全辐射体(黑体)轨迹的最小...光源的颜色测量可分为三刺激值积分法及光谱光度法两种.前者是利用三刺激值VisibleLight 所見的波長範圍 ...

#59. 用於65nm以下節點關鍵缺陷擷取的寬頻照明技術 - 電子工程專輯.

因此，對於擷取範圍極廣的缺陷類型來說，一個範圍從DUV到可見光波長的可調寬頻工具是理想解決方案。 本文以光學原理為基礎，對可調的寬頻技術與單波長 ...

#60. 按波长查询|分光器|KLV株式会社

按波长查询点击目标波长或产品类别，查看相关产品一栏览 ... 按波长查询DUV·UV 深紫外·紫外 ... 可视光是在所有电磁波中人类可以用肉眼看得到的波长，其波长范围 ...

#61. 7nm节点后光刻技术从DUV转至EUV，设备价值剧增 - 电子发烧友

芯片行业从20世纪90年代开始就考虑使用13.5nm的EUV光刻（紫外线波长范围是10~400nm）用以取代现在的193nm。EUV本身也有局限，比如容易被空气和镜片 ...

#62. (11) 證書號數

GENERATING DUV CW LASER RADIATION. (57)摘要. 一種深紫外光(DUV)連續波(CW). 雷射,其包含:一基諧波CW 雷射,其經組態以產生具有在約 lum 與1.1um 之間之一對應波長之 ...

#63. 微影照像

最小可印出的線寬稱為光點（pixel，或稱像素），在0.3光點範圍內將本 ... 更短波長的深紫外光（deep UV, DUV）。 ... 幾個對光學微影技術的重要波長、解析度和聚焦.

#64. 1. 何謂EUV 微影？

... EUV 微影技術的實用化，必須研發光源、光學系統、光罩、光阻、曝光裝置等各項要件技術，而激發具有極短波長13.5 nm 之強力EUV 光線的技術則是最大的課題。

#65. DUV和EUV光刻机的区别在哪？ 07-24 - 智通财经

因为ArF系列光刻机可用于制造7nm-130nm制程的芯片，而且该制程范围内的芯片占芯片 ... EUV的光源波长为13.5nm，但最先进DUV的光源波只有193nm，较长的波长使DUV无法 ...

#66. 半导体行业：DUV和EUV光刻机区别的思考：美国为何能控制 ...

因为ArF 系列光刻机可用于制造7nm-130nm 制程的芯片，而且该制程范围内的 ... EUV 的光源波长为13.5nm，但最先进DUV 的光源波只有193nm，较长的波长 ...

#67. 【產業動態】SETi進軍中國市場UV LED提升蔬果保鮮時間

美國南卡羅來那州專精於230-355nm波長深紫外（DUV）LED元件和模組廠商 ... 完成的研究證明波長介於285nm至305nm的UV LED燈，或者位於UVC 光譜範圍中的 ...

#68. Starna TS8标准物质RM-DUV/195_供应_食品商务中心

英国StarnaTS8*-波长/吸光度190-230 nm（深紫外光区） ... 2RM-DUV波长 ... 首先在需要的光谱带宽下做吸收光谱扫描，波长范围190 – 260nm，以确认各个 ...

#69. 紫外光波長 - Geasb

紫外光的波長從100nm~400nm ，315～400nmをUV-Aと分類します。また，係一種電磁波，可見光的波長範圍指的是λ = 400–800 nm(奈米)，取樣 ...

#70. AlGaN基深紫外LED结构优化与应用研究- 中国博士学位论文 ...

... 和AlN)和金刚石由于大的禁带宽度,是该波长范围紫外光源的潜在材料。 ... 深紫外(DUV)LED另外一个问题是发光抽取角度很小,器件中的大部分发光由内部材料吸收, ...

#71. 深外DUV-LED殺毒技術，你了解過嗎_紫外線_消毒_空氣

具有消毒殺菌功能的UVC短波紫外線，其波長範圍在200~280nm，它可殺滅我們日常生活中可能接觸的例如細菌、病毒、真菌、支原體等等微生物，具有廣譜性。 深紫外殺菌優勢.

#72. 极紫外光刻机光源 - 手机问答网

uv:紫外光简称,365nm duv:深紫外,248nm,193nm euv:电子束. 波长短EUV光刻采用波长为10-14纳米的极紫外光作为光源,可使曝光波长一下子降到13.5nm, ...

#73. DUV和EUV光刻机的区别在哪？ - 财联社

因为ArF系列光刻机可用于制造7nm-130nm制程的芯片，而且该制程范围内的芯片占芯片 ... EUV的光源波长为13.5nm，但最先进DUV的光源波只有193nm，较长的波长使DUV无法 ...

#74. 光纤二氧化硅/二氧化硅光纤DUV - Molex

公差范围严格. 二氧化硅纤芯，掺杂二氧化硅包层. 聚酰亚胺同心度≤3µm. 标配为聚酰亚胺缓冲层；也可提供硅酮、. 丙烯酸盐、氟聚合物缓冲层或者双缓冲层.

#75. DH-2000氘卤钨灯光源| 量子荧光

DH-2000光源能够提供波长范围在215-2500纳米的稳定连续输出。 ... 对于需要深紫外的应用，DH-2000-DUV内含了一个专用深紫外氘灯，可提供190-2500纳米的光谱输出。

#76. 其他（國際會議）) 參加2009年國際微製程與奈米材料研討會 ...

今日參加主題為深紫外光(DUV)、真空紫外光(VUV)、極短紫外光(EUV)微影製程技術。 夜宿札幌 ... 圖三、SCALPEL光微影示意圖 圖四、光學相關波長範圍分類圖.

#77. 7nm晶片唾手可得EUV光刻機, 還要看人眼色, 為什麼不直接用 ...

上一代DUV光刻機光源還是248奈米，如今已經進行了改良，而EUV就是極紫外光英文的縮寫，光源的波長是13。5奈米。我們從數值上就可以看出天壤之別。 7nm晶片 ...

#78. 紫外光波長UV&VIS

一般說來，可見光的波長範圍指的是λ = 400–800 nm(奈米)，紫外(UV)光的波長範圍 ... EUV光源波長比目前DUV（深紫外線微影）的光源波長短，約為15分之1，因此能使用於線 ...

#79. uv 波長

紫外線(UV)是指波長介於10nm-400nm的電磁波，由於已超出可見光範圍，無法以肉眼觀測。 ... 紫外線（Ultraviolet或簡稱UV）/ 深紫外線DUV=== 紫外線（Ultraviolet或 ...

#80. 光譜分析儀：規劃設計、製造 - 台灣海博特

可更換光譜探頭測定範圍（310~1050nm），並精準任意設定波長區間量測 ... △y , △u' , △v'; Delta uv (Duv); 主波長(λd); 色純度; 演色指數(CRI, Ra)/R1 to R15 ...

#81. 【開箱實測】讓你自「袋」淨化空間！台製OCONNOR 菌翹包

DUV 深紫外光的波長範圍在280 nm – 100 nm 之間，具殺菌消毒功能，但無法直接被人眼看見；因此單從肉眼可見的紫光，無法判斷產品是否具有殺菌、消毒效果。

#82. SyrusPro 真空镀膜机系列| 布勒莱宝光学 - Bühler Group

布勒莱宝光学SyrusPro 专为满负荷(24/7) 光学滤光片批量生产而设计，适用于深紫外(DUV)、可见光谱(VIS) 和红外(IR) 光谱范围应用。

#83. EUV 及BEUV 光源照射之釋氣定性與定量研究(2) 含苯環有機 ...

(1) 光阻經DUV、VUV、EUV 及BEUV 光源照射之釋氣定性與定量研究(2) 含苯環有機化合物在8-150 eV 的 ... 22 2.5.2 光源波長、光阻厚度、光阻成分對中性釋氣定量之量測.

#84. 深紫外检测系统U-UVF248

即使是深紫外线领域，也能进行248±4 nm的宽范围波长色差校正。能有效利用照明光源，获得鲜明的深 ... 新开发的DUV物镜不使用粘合材料，高精度地组装了18组18片的透镜。

#85. Energetiq高亮度宽带光源_光学测试测量设备

其产品具有很宽的光谱范围，谱线包括软X射线（SXR），远紫外线（EUV）,深紫外线（DUV）,并覆盖从可见光到红外光区（IR），波长范围从170nm到2100nm以上。

#86. TOPAS-PRIME 共线光学参量放大器 - 来特激光

如果波长或脉宽与上述值不同，请和我们联系。 注2： TOPAS-Prime 输出能量可在1 – 5 mJ 范围内线性增加，但设备需针对特定泵浦能量进行 ...

#87. ABM. Inc. Mask Aligner 光刻机

截止到2012年1月，ABM公司在世界范围售出了500多台光刻机，50多台单独曝光系统。 ... 接触式样曝光特征尺寸CD（深紫外DUV）：0.35 um（验收指标）

#88. ENERGETIQ 激光驱动宽带光源

其产品具有很宽的光谱范围，谱线. 包括软X 射线（SXR），远紫外线（EUV）, 深紫外线（DUV）, 并覆盖从可见光到红外光区. （IR），波长范围从170nm 到2100nm 以上。

#89. 紫外可见近红外分光光度计SolidSpec-3700i/3700i DUV

紫外可见近红外分光光度计SolidSpec-3700i/3700i DUV ... 最大波长范围：165-3300nm ... 可测定165nm-3300nm的宽波段范围（选配）。 双光栅单色器设计确保从深紫外区到 ...

#90. euv和duv区别是什么 - Office教程网

euv：激光激发等离子来发射EUV光子，光源的波长则为13.5纳米。 3、光路系统不同. duv：主要利用光的折射原理。其中， ...

#91. 上能國際有限公司 - Facebook

最近，該公司已作出強烈的情況下，在行業EUV從6.6nm到6.8nm波長範圍的基礎上，根據 ... 紫外光（DUV）光源產生波長為248 nm或193 nm的EUV光刻技術使用在極端紫外線波長 ...

#92. CN102736444A

初级反射元件布置成将在第一波长范围内的辐射反射至相关的次级反射元件或反射 ... 如权利要求1-4 中任一项所述光学设备，其中第二波长范围在DUV 波长范围的.

#93. MK350S Premium

光譜波長範圍. 380 to 780 nm. 波長資料間隔. 1 nm. 光譜波寬. 約9 nm （半波寬）. 波長再現性 ... Delta uv (Duv). 6. 主波長(λd). 7. 色純度.

#94. euv和duv区别有哪些- 互联网科技 - 亿速云

这篇文章主要介绍euv和duv区别有哪些，文中介绍的非常详细， ... 1、制程范围不同. duv：基本 ... duv：光源为准分子激光，光源的波长能达到193纳米。

#95. 【光刻】波段外辐射Out Of Band Radiation, OOB - 芯制造

这种非13.5nm波长的成分被称为波段外辐射（Out Of Band Radiation, OOB）[1]。 通常，OOB波长在150~400nm，其中DUV占EUV光强的比例约1%到30%。

#96. ASML展示的DUV光刻机与EUV光刻机有什么不同？ - 与非网

EUV 光刻机采用13.5nm 波长的光源，是突破10nm 芯片制程节点必不可少的工具。也就是说，就算DUV（深紫外线）光刻机能从尼康、佳能那里找到替代，但如果 ...

#97. 紫外線指數分級

290nm至325nm範圍波段紫外線輻射進行監測。 ... 來觀測，所得到各波長的輻射通量密度，經過紅斑作用光 ... 例如每日正午DUV的值為1000 J/m2，則其UVI的相對值就.