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rf matching box原理 在 [問題] RF裝置的問題- 看板Electronics - 批踢踢實業坊 的推薦與評價
大家好，
想請問大家問題，
有一個 RIE 的裝置，
其中 RF 的 Generator 都會搭 Matching Box，
想問大家，為什麼 RF 都要搭 Matching Box，
我上網看的資料好像要跟機器內部的阻抗做搭配，
不然 RF 可能會對機器內部造成傷害，
不過我一直不太瞭解，為什麼要跟 Matching Box，
它是利用什麼原理，最好可以說明 Matching Box 的 tune 及 load 的功用，
請大家幫我解答。
另的一個問題，
RIE 的裝置偶爾 run 到一半就停住了，
本人是猜測有可能是 Matchinb Box 跟機器連結 cable 有問題，
可是若是 cable 有問題的話，應該就是壞了就是壞了，
不會是這一次壞了，再測試一遍又好了。
結果經過一兩個月又發生 alarm，
本人的問題是， cable 有機會，這一次突然負載過大，
結果接著測試又好了，又慢慢累積負載，結果經過一兩個月才發生 alarm。
另外，有辦法可以測試 cable 是不是真的有老化或者有損壞的方法。
請大家幫我解答問題，
謝謝！
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