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原子層蝕刻技術從實驗室走入晶圓廠 延長摩爾定律的工作將越來越依賴高精密製程技術以製作出具有高品質薄膜表面的微小元件。在小於14奈米的技術節點中，電晶體的性能非常容易受到的製程變異的影響，會造...

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【 選擇性製程 vs. 傳統製程？精控材料，跨越微縮技術臨界點 】 你能想像，在晶圓不同位置上 精準...