EUV ,全名為Extreme Ultraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種波長極短的紫外光,一般生活中要塗乳液防曬的紫外線波長約在100~400奈米,而極紫外光才13.5 奈米 ... ... <看更多>
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EUV ,全名為Extreme Ultraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種波長極短的紫外光,一般生活中要塗乳液防曬的紫外線波長約在100~400奈米,而極紫外光才13.5 奈米 ... ... <看更多>
EUV ,全名為Extreme Ultraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種波長極短的紫外光,一般生活中要塗乳液防曬的紫外線波長約在100~400奈米,而極紫外光才13.5 奈米 ... ... <看更多>
在上一期的Whiteboard Session,很多人好奇當ASML開始使用EUV作為曝光機光源,我們是否需要調整設備的光學系統?今天Scott將和大家分享ASML的 ... GOC的全名是? ... <看更多>