本集節目由「 ASML 」贊助播出。
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有人說,看到這個標誌的貨車最好閃遠一點,不然一不小心撞到,是絕對賠不起的。
今天就讓我們來聊聊這個神秘貨車背後的故事吧!
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🎥 影片重點節錄 🎥
📍 大約在 1990 年代左右,主流的「 #乾式曝光 」微影技術,就已經把光源的波長,從 436 奈米,逐漸縮短到 193 奈米的紫外光。
📍 但如果還想繼續縮短,把更精密的電路放到晶圓上,就會遇到「鏡片」在物理上的極限,這個 193 奈米的關卡,當時大家都認為很難突破。
📍 不過,當時台積電的研發副總經理 #林本堅 ,就與荷蘭的 #ASML 公司,共同研發出「 #浸潤式微影 」技術,把原先 193 奈米設備的鏡頭,浸到水裡。
📍 透過水的折射,巧妙地產生等同於波長 134 奈米的微影效果,成功突破了「 #乾式微影 」的極限,讓整個產業的技術又能夠持續演進下去。
📍 這個「浸潤式微影」的技術一直發展下來,最關鍵的突破,就是縮寫是「 #EUV 」的「 #極紫外光 」技術了。
當年透過水的折射,產生 134 奈米的微影效果,就已經是很了不起的技術成就了,那現在 ASML 精進到甚麼程度的技術了呢?現在就趕快點開下方影片,讓我們一起來看看吧!
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『2002年,時任台積電前研發副總經理的林本堅拿著這項「沉浸式光刻」方案,跑遍美國、德國、日本等國,遊說各家半導體巨頭,但都吃了閉門羹。
當時還是小角色的 ASML(1984年飛利浦和一家小公司 ASM Internationa以50:50組成的合資公司,最初員工只有31人)決定賭一把,相比之前在傳統乾式微影上的投入,押注浸潤式技術更有可能以小博大。於是 ASML 和林本堅一拍即合,僅用一年多的時間,就在2004年拼全力趕出了第一台樣機,並先後奪下 IBM 和台積電等大客戶的訂單。
也因此,台積電與ASML關係可以說非常深遠。』
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台積電前研發副總經理、現任清華大學講座教授林本堅接受本報專訪首度坦承,二○一五年十一月自台積電退休後,中國一些半導體公司想找他去主持研發,但他毫不考慮,他更認為被挖角還帶機密資料投靠,是很不道德的事。林本堅十多年前提出以水為介質,研發出浸潤式微影取代乾式微影,不僅被視為ASML現今獨霸半導體微影設備的背後推手,也是讓台積電可引領全球半導體業技術走向的大功臣。
對於中國積極發展半導體,林本堅認為,任何國家若看到這個產業很重要,願意扶植,他正面看待;但他不認同被挖角的人,把前公司機密資料帶過去,這是不對的、很不道德,應該認知任職任何一個公司,所有發明或資訊都屬公司,可以帶走的是頭腦、經驗及解決問題的能力。
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剪輯軟體:Final Cut Pro X
背景音樂:Epidemicsound, https://www.epidemicsound.com/referral/weo8gd/
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影片企劃:阿康 Kang
影片攝影:阿康 Kang
後製剪輯:阿康 Kang
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素材與資料來源 Source / Reference:
官網、Pexels (若有非我實拍)
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版權聲明:此影片若有採用任何素材,皆以幫助素材擁有者推廣為主,若有採用都會在影片敘述標注讓觀眾知道出處與來源,若版權擁有者對於附註或是其餘想法問題,還請讓我知道
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乾式 微影 在 [新聞] 林本堅發明浸潤式微影技術- 看板Tech_Job - 批踢踢實業坊 的推薦與評價
https://ec.ltn.com.tw/article/paper/1442561
林本堅 發明浸潤式微影技術
2021/04/12 05:30
https://img.ltn.com.tw/Upload/business/page/800/2021/04/12/147.jpg
台積電前研發副總經理、現任清華大學講座教授林本堅。(記者洪友芳攝)
記者洪友芳/特稿
光學微影是半導體重要的關鍵技術,林本堅被稱為微影技術的先驅者,當前全球半導體高
階製程所用的浸潤式微影技術,就來自他的發明;他也是中研院第一位產業界出身的院士
。
中研院首位產業界出身院士
林本堅曾任職IBM研究中心長達二十二年時間,帶領團隊創造出許多領先全球的技術;從
IBM退休後,他在美國自行創業近十年,二○○○年在台積電前研發副總經理蔣尚義邀請
下加入台積電;二○○二年間,他改以水為介質,研發出浸潤式微影取代乾式微影,讓台
積電成功引領全球半導體業技術走向,得以推進製程至今。
半導體業從四十奈米製程開始採用浸潤式技術量產,設備大廠艾司摩爾(ASML)也跟著轉
向,全球業界跟進;從四十五奈米到目前量產的五奈米製程都是浸潤式技術,該技術已躍
為全球半導體業量產技術主流,更讓台積電技術領先英特爾、三星,居全球半導體領導地
位。
林本堅獲獎無數,除了多次獲IBM頒發傑出發明獎、傑出貢獻獎外,更當選美國國家工程
學院院士、國際電機電子工程師學會(IEEE)西澤潤一獎、Cledo Brunetti獎、工研院院
士、潘文淵文教基金會研究傑出獎、IEEE會士及首位產業界的中研院院士:二○一八年底
,有「中國諾貝爾獎」之稱的未來科學大獎,還頒給他高達一百萬美元的數學與電腦科學
獎項,顯見他在業界的重要地位。
林本堅二○一五年十一月自台積電退休,原規劃輕鬆過日子、專心傳教,沒想到清大找他
去教書;他說現在好像跟當初來台灣一樣,有很多喜歡的事要做,時間不夠分配,除了教
課外,還接任台積電與清大的聯合研發中心主任、負責主持產學大聯盟,加上每週打兩次
網球、每月最後一週負責教會講道等;林本堅笑說:「退休後更忙碌。」
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佛沒說小乘、大乘。上座部佛教馬哈希尊者帝釋所問經講記77頁拆穿假佛法大乘的騙局。
上座部佛教明昆《南傳菩薩道》是真釋迦牟尼佛的菩薩成佛之道 大乘是假菩薩成佛之道
妙法蓮華經、華嚴經、心經、金剛經、梵網經(菩薩戒)、圓覺經、楞嚴經是大乘假佛經。
阿彌陀佛 藥師佛 大日如來是大乘假佛 觀世音 維摩詰 龍樹 地藏王是大乘假菩薩
https://www.ptt.cc/bbs/soul/M.1584460614.A.E88.html
上座部佛教目犍連子帝須和那先破偽經大乘十方諸佛
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