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還記得去年夏天有個新聞是,
路上出現了幾台,價值 #台幣三十億 起跳的 #白色超長貨櫃車 嗎?
有人說,看到這個標誌的貨車最好閃遠一點,不然一不小心撞到,是絕對賠不起的。
今天就讓我們來聊聊這個神秘貨車背後的故事吧!
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🎥 影片重點節錄 🎥
📍 大約在 1990 年代左右,主流的「 #乾式曝光 」微影技術,就已經把光源的波長,從 436 奈米,逐漸縮短到 193 奈米的紫外光。
📍 但如果還想繼續縮短,把更精密的電路放到晶圓上,就會遇到「鏡片」在物理上的極限,這個 193 奈米的關卡,當時大家都認為很難突破。
📍 不過,當時台積電的研發副總經理 #林本堅 ,就與荷蘭的 #ASML 公司,共同研發出「 #浸潤式微影 」技術,把原先 193 奈米設備的鏡頭,浸到水裡。
📍 透過水的折射,巧妙地產生等同於波長 134 奈米的微影效果,成功突破了「 #乾式微影 」的極限,讓整個產業的技術又能夠持續演進下去。
📍 這個「浸潤式微影」的技術一直發展下來,最關鍵的突破,就是縮寫是「 #EUV 」的「 #極紫外光 」技術了。
當年透過水的折射,產生 134 奈米的微影效果,就已經是很了不起的技術成就了,那現在 ASML 精進到甚麼程度的技術了呢?現在就趕快點開下方影片,讓我們一起來看看吧!
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浸潤式微影技術asml 在 新電子科技雜誌 Facebook 的最讚貼文
極紫外光(EUV)微影技術出現重大突破!
傳統浸潤式微影技術在半導體製程邁入1x奈米節點後將面臨物理極限,遂使EUV成為產業明日之星。設備供應商艾司摩爾(ASML)已協同比利時微電子研究中心(IMEC)和重量級晶圓廠,合力改良EUV光源功率與晶圓產出速度,預計2015年可發布首款量產型EUV機台。
浸潤式微影技術asml 在 志祺七七 X 圖文不符 Youtube 的精選貼文
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#ASML #微影設備
各節重點:
00:00 開頭
00:56 IC晶片是怎麼製成的?
01:40 微影技術是什麼?
02:41 卡關20年的微影技術
03:56 最先進的微影技術EUV
04:56 集頂尖技術於一身的EUV
06:41 開放創新的ASML
08:12 我們的觀點
09:43 結尾
【 製作團隊 】
| 客戶/專案經理:Pony
|企劃:冰鱸、關節
|腳本:冰鱸
|編輯:土龍
|剪輯後製:絲繡
|剪輯助理:珊珊
|演出:志祺
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【 本集參考資料 】
→半導體之島:https://bit.ly/3znkTK1
→【Did You Know? 如果EUV機台是印表機📄】:https://bit.ly/3khCXRF
→ASML in 1 minute:https://bit.ly/3nI3LNc
→Zoom in on the chip in your smartphone:https://bit.ly/3ErG4yj
→Be part of progress, work at ASML in Taiwan:https://bit.ly/3lCfU3D
→TRUMPF EUV lithography – This all happens in one second:https://bit.ly/3EsSOVG
→The Tech Cold War’s ‘Most Complicated Machine’ That’s Out of China’s Reach:https://nyti.ms/3tP9lyf
→挽救摩爾定律:ASML 極紫外光(EUV)微影技術量產的開發歷程:https://bit.ly/2XlfyFY
→【一圖弄懂半導體】台積電與英特爾在追趕的奈米製程是什麼?:https://bit.ly/3EoKdTL
→半導體產業鏈簡介:https://bit.ly/2Xuo8Cw
→半導體解密:ASML光刻機憑什麼能一廠獨大?台積電總能買到最好的光刻機?ASML有對手嗎?:https://bit.ly/3zgyTWc
→EUV 極紫外光!一個你應該知道與 台積電 相關的技術:https://bit.ly/3EkWPeN
→「撞到要賠 30 億台幣的卡車!」台積電背後的「靈魂軍火商」求人才不惜下重本:https://bit.ly/3nGPFvp
→ASML來台設技術培訓中心!助攻台積電先進製程,年產360位工程師:https://bit.ly/3CkthMl
→EUV 設備每台重量高達 180 公噸,每次運輸必須動用 3 架次貨機:https://bit.ly/3tKgHDa
→工業技術與資訊月刊:https://bit.ly/3lACp8O
→EUV世代 ASML靠併購賺到關鍵技術:https://bit.ly/3tNJ8zU
→簡單的光學突破 3C 科技瓶頸:浸潤式微影:https://bit.ly/3nDvGxG
→摩爾定律的華麗謝幕:EUV微影機:https://bit.ly/3CjoWcd
→微影製程再進化!複雜電路的祕密:https://bit.ly/3Coosl4
→Materials challenge 193-nm optics:https://bit.ly/3lxYZyX
→深夜神秘貨櫃車解密 EUV體驗車今明停靠成大:https://bit.ly/3zj9Q4T
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