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overhang半導體 在 薄膜沈積製程技術 - 國立交通大學 的相關結果
懸突( Overhang) = (c - b)/b. 深寬比(Aspect ratio) = h/w ... Basic Concepts (cont.) - Overhang (懸突) ... CVD製程被廣泛地使用在半導體工業中以進. ... <看更多>
overhang半導體 在 金屬化製程 的相關結果
在半導體工業中對製程評鑑最普遍的定. 義就是49點量測及標準差3σ ... 經常在半導體廠中的金屬區間內進行 ... 反向電流移除銅, 以減少洞口(Overhang). 的懸凸物. ... <看更多>
overhang半導體 在 半導體製程技術 - 聯合大學 的相關結果
半導體. SiCl2H2 (二氯矽烷;DCS). Si (磊晶). SiCl3H (三氯矽烷;TCS) ... 廣泛的使用在半導體工業上,尤其是在STI 和PMD的應 ... 懸突(Overhang) ... ... <看更多>