薄膜製程 目的在半導體製程簡介的討論與評價 ... IC依功能及使用目的，進行線路及半導體元件的設計並製作於晶圓表層。 ... ③重複薄膜製作→微影製程→蝕刻（並去除光阻）→ ... ... <看更多>

薄膜製程 目的在半導體製程簡介的討論與評價 ... IC依功能及使用目的，進行線路及半導體元件的設計並製作於晶圓表層。 ... ③重複薄膜製作→微影製程→蝕刻（並去除光阻）→ ... ... <看更多>

內容簡介. 本書對當前主要應用的薄膜技術及相關設備進行了深入淺出的介紹，主要包括作為最重要的半導體襯底的矽單晶材料學、薄膜基礎知識、PVD技術、CVD技術及其他相關 ... ... <看更多>

內容簡介. 本書對當前主要應用的薄膜技術及相關設備進行了深入淺出的介紹，主要包括作為最重要的半導體襯底的矽單晶材料學、薄膜基礎知識、PVD技術、CVD技術及其他相關 ... ... <看更多>

薄膜製程 ：形成絕緣膜與金屬層2. 縮影製程：形成光阻電路圖3. 蝕刻製程：使用光阻劑進行膜加工4. 擴散製程：使矽晶圓板上形成導電層(*已更正) 5. CMP製程(化學機械 ... ... <看更多>