負光阻. ▫. 經曝光後變不可溶. ▫. 經顯影製程,未曝光部. 分溶解. ▫. 較便宜. 正光阻. ... <看更多>
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負光阻. ▫. 經曝光後變不可溶. ▫. 經顯影製程,未曝光部. 分溶解. ▫. 較便宜. 正光阻. ... <看更多>
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芯片制造详解04:光刻技术与基本流程 ... (上)|記得開字幕|台積電TSMC|聯電UMC|半導體工程師必備 英文 |工程師口語 英文 |. 漢斯日常Hans' Daily. ... <看更多>
負光阻. 正光阻. (Negative Photoresist). 曝光部分不溶解. (Positive Photoresist) ... 在DUV光線照射下造成光阻產生光酸... 烘烤(PEB)製程中, 催化反應下會驅使光酸. ... <看更多>
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