提供曝光後烘烤相關PTT/Dcard文章，想要了解更多黃光製程、曝後烤、曝後烤目的有關 ... 此電子束... 去水烘烤. 上HMDS. 阻劑塗佈. 軟烤. 曝光. 曝後烤. 顯影. 硬烤. ... <看更多>

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而LOR undercut的速度和軟烤溫度有關我們以前是作5um以上...但後來作2um的lift off也是遇到了這個問題後來是利用調整軟烤溫度來達成這個目的. ... <看更多>

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軟烤 3. 對準光罩（Mask Align）及曝光（Exposure） 4. 顯影（Development） 5. ... 影製程實驗.ppt，黃光微影製程實驗地點:ME202 時間:2009/5/1 大綱實驗目的原理藥品 ... ... <看更多>