微影製程(英語:photolithography)是半導體元件製造製程中的一個重要步驟,該步驟利用曝光和顯影在光阻層上刻畫幾何圖形結構,然後通過蝕刻製程將光罩上的圖形轉移到 ... ... <看更多>
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微影製程(英語:photolithography)是半導體元件製造製程中的一個重要步驟,該步驟利用曝光和顯影在光阻層上刻畫幾何圖形結構,然後通過蝕刻製程將光罩上的圖形轉移到 ... ... <看更多>
微影製程(英語:photolithography)是半導體元件製造製程中的一個重要步驟,該步驟利用曝光和顯影在光阻層上刻畫幾何圖形結構,然後通過蝕刻製程將光罩上的圖形轉移到 ... ... <看更多>
(一) 製程概觀參考書籍: Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology by Xiao 半導體製程主要分六個module, 分別是: 微影(lithography) ... ... <看更多>