本集節目由「 ASML 」贊助播出。
解密全球最大半導體設備商 ASML EUV 極紫外光獨家創新技術，
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＃BePartofProgress ＃Innovation
還記得去年夏天有個新聞是，
路上出現了幾台，價值 ＃台幣三十億 起跳的 ＃白色超長貨櫃車 嗎？
有人說，看到這個標誌的貨車最好閃遠一點，不然一不小心撞到，是絕對賠不起的。
今天就讓我們來聊聊這個神秘貨車背後的故事吧！
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🎥 影片重點節錄 🎥
📍 大約在 1990 年代左右，主流的「 ＃乾式曝光 」微影技術，就已經把光源的波長，從 436 奈米，逐漸縮短到 193 奈米的紫外光。
📍 但如果還想繼續縮短，把更精密的電路放到晶圓上，就會遇到「鏡片」在物理上的極限，這個 193 奈米的關卡，當時大家都認為很難突破。
📍 不過，當時台積電的研發副總經理 ＃林本堅 ，就與荷蘭的 ＃ASML 公司，共同研發出「 ＃浸潤式微影 」技術，把原先 193 奈米設備的鏡頭，浸到水裡。
📍 透過水的折射，巧妙地產生等同於波長 134 奈米的微影效果，成功突破了「 ＃乾式微影 」的極限，讓整個產業的技術又能夠持續演進下去。
📍 這個「浸潤式微影」的技術一直發展下來，最關鍵的突破，就是縮寫是「 ＃EUV 」的「 ＃極紫外光 」技術了。
當年透過水的折射，產生 134 奈米的微影效果，就已經是很了不起的技術成就了，那現在 ASML 精進到甚麼程度的技術了呢？現在就趕快點開下方影片，讓我們一起來看看吧！
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