... 日商三井化學公司，在未來將持續與合作夥伴共同開發下一代光罩護膜，持續改善EUV光罩護膜效能，以更趨優良的產品服務我們的客戶。 ·光罩護膜（Pellicle）是什麼？ ... <看更多>

而隨著製程推進至5奈米，每片晶圓採用EUV光罩層大幅拉升，台積電預估2021年EUV光罩護膜產能將是2019年的20倍。 而根據艾司摩爾（ASML）統計，自2017年 ... ... <看更多>

極紫外線(EUV) 光罩是以新式微影系統，透過高能量、短波長的光源，將電路圖案轉印到晶圓。EUV 光源波長比目前深紫外線微影製程的光源波長短少約15 倍，因此能持續將線 ... ... <看更多>

極紫外線(EUV) 光罩是以新式微影系統，透過高能量、短波長的光源，將電路圖案轉印到晶圓。EUV 光源波長比目前深紫外線微影製程的光源波長短少約15 倍，因此能持續將線 ... ... <看更多>

11 F 推sam7649: 這是台積EBO的缺pellicle 就是光罩做的最後一部的 ... 33 F →ancca: 關鍵字EUV pellicle，搞得出來的全世界五跟手指頭 11/24 20:39. ... <看更多>

業界分析，台積電7+ 約需2~4 層EUV 光罩層、5 奈米約12~14 層，3 奈米更需要到24 層，可見EUV 的重要性；3 奈米也拍板non-Pellicle（無光罩保護膜）， ... ... <看更多>

業界分析，台積電7+ 約需2~4 層EUV 光罩層、5 奈米約12~14 層，3 奈米更需要到24 層，可見EUV 的重要性；3 奈米也拍板non-Pellicle（無光罩保護膜）， ... ... <看更多>

而隨著製程推進至5奈米，每片晶圓採用EUV光罩層大幅拉升，台積電預估2021年EUV光罩護膜產能將是2019年的20倍。 而根據艾司摩爾（ASML）統計，自2017年推出可支援量產 ... ... <看更多>